關于顆粒污染物的表面清潔度檢測光源

為什么需要表面清潔管理？

我們相信，在管理 10,000 級（ISO 7 級）潔凈室（這是我們的領域）時，表面清潔度管理極其重要。造成這種情況的主要原因有兩個。

一是潔凈室的空氣潔凈度標準主要關注懸浮顆粒物，與落塵沉積物的數量沒有明顯的相關性，這是萬級環(huán)境中的通病。二是空氣潔凈度標準潔凈室的潔凈度主要是懸浮顆粒物，與累積的落塵數量沒有明顯的相關性，這是萬級環(huán)境中常見的問題，直接涉及的是表面污染。

關于 JACA No.42

2006年1月，日本清潔空氣協(xié)會公布了“如何表達和測量潔凈室和相關受控環(huán)境中顆粒污染物表面清潔度的指南"。 其“目的"指出：

潔凈室及相關受控環(huán)境的空氣潔凈度是通過懸浮顆粒污染物的數量濃度來定義的，但污染物引起問題的區(qū)域是產品和其他物體的表面...（略）...ISO/TC209/WG9嘗試標準化顆粒污染方面的表面清潔度。因此，迫切需要對顆粒污染物的表面清潔度進行標準化。

表面清潔度等級

潔凈室和潔凈區(qū)域表面顆粒的潔凈度等級。它以表面特定清潔度（SPC）等級N表示，表示目標粒徑的允許上限顆粒濃度（1 m2 表面中存在的顆粒數量）。

*目標粒徑原則上為0.05μm至500μm。

表面清潔度等級數

潔凈室和相關受控環(huán)境中的表面清潔度以 SPC N級表示。N由目標粒徑D下顆粒的允許上限濃度C SPC,D的對數確定，如下式所示。

C SPC,D = (10 N × (1.0/D)

此處，C SPC,D為測定粒徑以上的表面的粒子濃度(每1m 2表面的粒子數)的容許上限濃度。有效數字為 2 位。

N是定義在 1 到 8 范圍內的 SPC 類別號。中級課程最多可以使用一位小數。

D為測量的粒徑（μm）；

1.0為常數（μm）

； 注：實際測量面積通常約為100 cm 2（0.01 m 2 ）。

*摘自日本空氣凈化協(xié)會JACA第42-2006號“潔凈室和相關受控環(huán)境中顆粒污染物的表面清潔度表達和測量指南"

ISO表面清潔度等級

ISO14644-9 SCP類別表